在半導體制造領域,超純水是貫穿晶圓加工全流程的核心生產要素。從晶圓清洗、光刻到蝕刻,每一道工序都對水質提出近乎苛刻的要求。一旦水中雜質超標,輕則導致芯片良率下降,重則引發(fā)整條生產線停擺。在這一背景下,高新科技作為一家聚焦于芯片制造等電子核心產業(yè)的超純水系統(tǒng)供應商,構建起覆蓋超純水制備、儲運、收集、處理、回用各個環(huán)節(jié)的全鏈條技術體系,為半導體產業(yè)提供穩(wěn)定可靠的用水保障。

超純水制備:技術精進驅動純度突破

超純水制備系統(tǒng)工藝非常復雜,對設備精度與工藝控制提出極高要求。超純水的生產要經過多道工藝流程,預處理、初級處理與拋光等多個步驟,這些步驟中,還涉及離子交換、UV照射、反滲透、混床離子交換、拋光膜脫氣等多種高精尖技術,共同確保電阻率達到≥18.24MΩ*cm(在25℃時)的超純標準。

高頻科技專注超純水領域,依托資深的技術團隊,經過持續(xù)研發(fā)投入與工藝探索,其超純水系統(tǒng)制備的超純水純度可達ppt級別,離子含量僅萬億分之一,打造出比肩國際標準的超純水。高頻科技是國內極少數能夠在芯片領域提供超純水系統(tǒng)的企業(yè),同時是國內首家具備12英寸14nm芯片產線超純水制備能力的系統(tǒng)供應商。

超純水配送:閉環(huán)水循環(huán)確保水質穩(wěn)定

在半導體制造中,超純水從制備到機臺端的“最后一公里”輸送,是決定水質穩(wěn)定性的關鍵環(huán)節(jié)。在這一過程中,不管是管道材質析出、微生物滋生還是氣體溶入,都可能導致水質污染,影響半導體生產。

高頻科技超純水配送系統(tǒng)采用環(huán)路連接設計消除死水區(qū),實現(xiàn)24小時閉環(huán)循環(huán)。系統(tǒng)通過增壓泵變頻調節(jié)與回水管道比例閥開度控制,動態(tài)匹配用水量變化,維持管內壓力恒定;供水流量按實際需求的120%-150%設計冗余,保障用水高峰期壓力穩(wěn)定及水流速,避免微生物滋生。同時,該系統(tǒng)的管道擁有極高的穩(wěn)定性,幾乎沒有任何有機物、離子等雜質的析出,確保超純水不被污染的供應至機臺端。

廢水處理與回用:經濟與生態(tài)效益雙贏

半導體制造產生的廢水成分復雜,包含氫氟酸腐蝕性物質、光刻膠溶劑類有機物及銅/鋁等金屬離子污染物,而傳統(tǒng)單一處理工藝存在成本高、回用水質不穩(wěn)定等技術瓶頸。

針對行業(yè)痛點,高頻科技研發(fā)打造出電子級廢水處理技術,采用針對性的工藝高效、經濟地完成處理。通過多級化學混凝沉淀、氨氮吹脫、生物處理等工藝的結合,該技術能夠有效處理污染物繁多、性質復雜的芯片廢水,實現(xiàn)深度去除污染物。同時,高頻科技依托出眾的技術和設計能力,能夠對制程機臺產生的30多道廢水進行合理的分流和回用。項目水平衡可實現(xiàn)整廠用水的制備回收率高達90%,幫助企業(yè)實現(xiàn)提高水資源利用率,達成降本增效目的,實現(xiàn)經濟效益與生態(tài)效益雙贏。

當前,我國半導體產業(yè)正向更高端、更自主方向加速邁進,作為半導體產業(yè)鏈的關鍵支撐環(huán)節(jié),高頻科技通過構建超純水全生命周期技術體系,深度參與著產業(yè)升級進程。展望未來,高頻科技將繼續(xù)深耕超純水工藝技術,精準對接產業(yè)升級對超純水品質的新需求,并以高效資源循環(huán)技術助力半導體企業(yè)實現(xiàn)降本增效與可持續(xù)發(fā)展。

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